Tyndfilmprocesser med RF-sputtering

Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Article in proceedings › Research

Original language	Danish
Title of host publication	Metallurgiske Processer i Dansk Industri
Editors	H. Lilholt, P.H. Gundel, G. Skjelsager
Place of Publication	Lyngby
Publisher	Dansk Metallurgisk Selskab
Publication date	1987
Pages	1-22
ISBN (Print)	87-87535-14-9
Publication status	Published - 1987
Event	Dansk Metallurgisk Selskabs Vintermøde 1987 - Sønderborg, Denmark Duration: 5 Jan 1987 → 7 Jan 1987

Conference	Dansk Metallurgisk Selskabs Vintermøde 1987
Country/Territory	Denmark
City	Sønderborg
Period	05/01/1987 → 07/01/1987

OpenUrl availability

@inproceedings{fd4db28a6d224614845f9f4d7cc17335,

title = "Tyndfilmprocesser med RF-sputtering",

author = "N.H. Andersen",

year = "1987",

language = "Dansk",

isbn = "87-87535-14-9",

pages = "1--22",

editor = "H. Lilholt and P.H. Gundel and G. Skjelsager",

booktitle = "Metallurgiske Processer i Dansk Industri",

publisher = "Dansk Metallurgisk Selskab",

note = "Dansk Metallurgisk Selskabs Vinterm{\o}de 1987 ; Conference date: 05-01-1987 Through 07-01-1987",

}

TY - GEN

T1 - Tyndfilmprocesser med RF-sputtering

AU - Andersen, N.H.

PY - 1987

Y1 - 1987

M3 - Konferencebidrag i proceedings

SN - 87-87535-14-9

SP - 1

EP - 22

BT - Metallurgiske Processer i Dansk Industri

A2 - Lilholt, H.

A2 - Gundel, P.H.

A2 - Skjelsager, G.

PB - Dansk Metallurgisk Selskab

CY - Lyngby

T2 - Dansk Metallurgisk Selskabs Vintermøde 1987

Y2 - 5 January 1987 through 7 January 1987

ER -