Tyndfilmprocesser med RF-sputtering

N.H. Andersen

    Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceedingArticle in proceedingsResearch

    Original languageDanish
    Title of host publicationMetallurgiske Processer i Dansk Industri
    EditorsH. Lilholt, P.H. Gundel, G. Skjelsager
    Place of PublicationLyngby
    PublisherDansk Metallurgisk Selskab
    Publication date1987
    Pages1-22
    ISBN (Print)87-87535-14-9
    Publication statusPublished - 1987
    EventDansk Metallurgisk Selskabs Vintermøde 1987 - Sønderborg, Denmark
    Duration: 5 Jan 19877 Jan 1987

    Conference

    ConferenceDansk Metallurgisk Selskabs Vintermøde 1987
    CountryDenmark
    CitySønderborg
    Period05/01/198707/01/1987

    Cite this

    Andersen, N. H. (1987). Tyndfilmprocesser med RF-sputtering. In H. Lilholt, P. H. Gundel, & G. Skjelsager (Eds.), Metallurgiske Processer i Dansk Industri (pp. 1-22). Lyngby: Dansk Metallurgisk Selskab.
    Andersen, N.H. / Tyndfilmprocesser med RF-sputtering. Metallurgiske Processer i Dansk Industri. editor / H. Lilholt ; P.H. Gundel ; G. Skjelsager. Lyngby : Dansk Metallurgisk Selskab, 1987. pp. 1-22
    @inproceedings{fd4db28a6d224614845f9f4d7cc17335,
    title = "Tyndfilmprocesser med RF-sputtering",
    author = "N.H. Andersen",
    year = "1987",
    language = "Dansk",
    isbn = "87-87535-14-9",
    pages = "1--22",
    editor = "H. Lilholt and P.H. Gundel and G. Skjelsager",
    booktitle = "Metallurgiske Processer i Dansk Industri",
    publisher = "Dansk Metallurgisk Selskab",

    }

    Andersen, NH 1987, Tyndfilmprocesser med RF-sputtering. in H Lilholt, PH Gundel & G Skjelsager (eds), Metallurgiske Processer i Dansk Industri. Dansk Metallurgisk Selskab, Lyngby, pp. 1-22, Dansk Metallurgisk Selskabs Vintermøde 1987, Sønderborg, Denmark, 05/01/1987.

    Tyndfilmprocesser med RF-sputtering. / Andersen, N.H.

    Metallurgiske Processer i Dansk Industri. ed. / H. Lilholt; P.H. Gundel; G. Skjelsager. Lyngby : Dansk Metallurgisk Selskab, 1987. p. 1-22.

    Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceedingArticle in proceedingsResearch

    TY - GEN

    T1 - Tyndfilmprocesser med RF-sputtering

    AU - Andersen, N.H.

    PY - 1987

    Y1 - 1987

    M3 - Konferencebidrag i proceedings

    SN - 87-87535-14-9

    SP - 1

    EP - 22

    BT - Metallurgiske Processer i Dansk Industri

    A2 - Lilholt, H.

    A2 - Gundel, P.H.

    A2 - Skjelsager, G.

    PB - Dansk Metallurgisk Selskab

    CY - Lyngby

    ER -

    Andersen NH. Tyndfilmprocesser med RF-sputtering. In Lilholt H, Gundel PH, Skjelsager G, editors, Metallurgiske Processer i Dansk Industri. Lyngby: Dansk Metallurgisk Selskab. 1987. p. 1-22