Tyndfilmprocesser med RF-sputtering

N.H. Andersen

    Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceedingArticle in proceedingsResearch

    Original languageDanish
    Title of host publicationMetallurgiske Processer i Dansk Industri
    EditorsH. Lilholt, P.H. Gundel, G. Skjelsager
    Place of PublicationLyngby
    PublisherDansk Metallurgisk Selskab
    Publication date1987
    Pages1-22
    ISBN (Print)87-87535-14-9
    Publication statusPublished - 1987
    EventDansk Metallurgisk Selskabs Vintermøde 1987 - Sønderborg, Denmark
    Duration: 5 Jan 19877 Jan 1987

    Conference

    ConferenceDansk Metallurgisk Selskabs Vintermøde 1987
    CountryDenmark
    CitySønderborg
    Period05/01/198707/01/1987

    Cite this