SU-8 Cantilever Sensor with Integrated Read-Out

Alicia Charlotte Johansson

    Research output: Book/ReportPh.D. thesis

    220 Downloads (Pure)

    Abstract

    Cantilever baserede biosensorer kan bruges til så kaldet label-free detektion af små koncentrationer af molekyler i en opløsning. Når et specifikt molekyle binder til overfladen af en cantilever induceres et overfladestress som resulterer i en udbøjning af cantileveren. Cantileverens udbøjningen kan måles med optiske målesystemer eller ved hjælp af integrerede piezoresistorer. Dette PhD projekt beskriver design, fremstilling og indpakning af en polymer cantilever chip med piezoresistive udlæsning. Chippen er fremstillet i den epoxy-baserede negative fotoresist SU-8, på nær de integrerede guld resistorer. Cantilever baserede sensorer bliver normalt fremstillet i silicium men fordelen ved at bruge SU-8 er, at SU-8 er et blødere materiale som er billigere og hurtigere at fremstille. For at opnå elektrisk kontakt fra chippen til et printet kredsløbskort, er flere metoder så som flip-chip bonding blevet undersøgt. Chippen er blevet brugt til overfladestress målinger i væske, så som thiol binding og detektion af pH forandringer. Teoretiske beregninger af følsomheden for overfladestress og den mindste målbare overfladestress bliver også beskrevet. Til sidst diskuteres muligheden for at binde antistoffer til cantileverens SU-8 overflade og præliminære resultater fra den efter følgende detektion af proteiner bliver præsenteret.
    Original languageEnglish
    Number of pages144
    Publication statusPublished - Feb 2007

    Cite this