Strukturmodifizierung von TiN Hartstoffschichten durch zeitliche variation der Abscheideparameter

Karen Pantleon, Peggy John, Hagen Sahm, Heinrich Oettel

    Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceedingArticle in proceedingsResearchpeer-review

    Original languageEnglish
    Title of host publicationWerkstoffwoche
    Publication date1997
    Pages799-804
    Publication statusPublished - 1997
    EventWerkstoffwoche 96 - Stuttgart, Germany
    Duration: 28 May 199631 May 1996

    Conference

    ConferenceWerkstoffwoche 96
    CountryGermany
    CityStuttgart
    Period28/05/199631/05/1996

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