Sputtering of inorganic insulators

R.E. Johnson, Jørgen Schou

Research output: Contribution to journal › Journal article › Research

Original language	English
Journal	Det Kongelige Danske Videnskabernes Selskab, Matematisk-Fysiske Meddelelser
Volume	43
Pages (from-to)	403-493
Publication status	Published - 1993

OpenUrl availability

@article{f0518d6984e24036936d60079f95c993,

title = "Sputtering of inorganic insulators",

keywords = "Materialer med s{\ae}rlige fysiske og kemiske egenskaber",

author = "R.E. Johnson and J{\o}rgen Schou",

year = "1993",

language = "English",

volume = "43",

pages = "403--493",

journal = "Det Kongelige Danske Videnskabernes Selskab, Matematisk-Fysiske Meddelelser",

publisher = "Det Kongelige Danske Videnskabernes Selskab",

}

TY - JOUR

T1 - Sputtering of inorganic insulators

AU - Johnson, R.E.

AU - Schou, Jørgen

PY - 1993

Y1 - 1993

KW - Materialer med særlige fysiske og kemiske egenskaber

M3 - Journal article

VL - 43

SP - 403

EP - 493

JO - Det Kongelige Danske Videnskabernes Selskab, Matematisk-Fysiske Meddelelser

JF - Det Kongelige Danske Videnskabernes Selskab, Matematisk-Fysiske Meddelelser

ER -