Large Scale Integration of Carbon Nanotubes in Microsystems

Kjetil Gjerde

    Research output: Book/ReportPh.D. thesis

    208 Downloads (Pure)

    Abstract

    Kulstof nanorør har mange egenskaber der kunne anvendes i kombination med traditionelle mikrosystemer, her især overlegne mekaniske og elektriske egenskaber. I dette arbejde bliver metoder til stor-skala integration av kulstof nanorør i mikrosystemer undersøgt, med henblik på anvendelse som mekaniske prober, elektroder og felt-emittere. Første del behandler kompatibilitet af silicium mikrofabrikation med in-situ katalytisk dyrkning af nanorør, hvilket er en metode der tillader kontrol af position, diameter og inklineringsvinkel af nanorørene. I anden del blir kulstof nanorør ”skove” studeret nøjere. Det blir vist at nanorør skove kan bruges som non-stick overflader hvilket gør manipulering av mikro og nanostrukturer meget lettere. Objekter som latex microkugler og organiske nanofibre kan manipuleres, efter først at have været spredt ud på nanorør skoven. I tredje del beskrives konstruktion, optimering og første resultater fra et kombinert CVD og PECVD katalytisk dyrkningskammer til kulstof nanorør. I sidste del præsenteres og sammenlignes fire forskellige mikro/nano fabrikationsprocesser udviklet i dette projekt, til wafer skala integration av katalytiske nanopartikler for efterfølgende syntese af kulstof nanorør i mikrosystemer.
    Original languageEnglish
    Number of pages167
    Publication statusPublished - Jan 2007

    Cite this