Korrelation Prozeß - Gefüge - Eigenschaften

Karen Pantleon; Peter Torben Tang; Anette Alsted Rasmussen; Io Mizushima; Jens Dahl Jensen; Per Møller; Marcel A.J. Somers

Korrelation Prozeß - Gefüge - Eigenschaften

Karen Pantleon
, Peter Torben Tang
, Anette Alsted Rasmussen
, Io Mizushima
, Jens Dahl Jensen
, Per Møller
, Marcel A.J. Somers

Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Article in proceedings › Research

Abstract

Anhand unterschiedlicher funktioneller Schichten (Cu, Ni, Ni-W, Co-Ni-Fe) wird der Zusammenhang zwischen den gewählten Abscheideparametern, dem Gefüge der Schichten und den daraus resultierenden Eigenschaften diskutiert. Struktur- und Gefügeanalyse der Schichten erfolgte mittels Röntgen- und Elektronenbeugung, Licht- und Elektronenmikroskopie. Abhängig von den für die Anwendung der Schichten maßgeblichen Eigenschaften wurden Härtemessungen sowie Messungen des elektrischen Widerstandes bzw. magnetischer Eigenschaften durchgeführt. Gefüge- und Eigenschaftsänderungen wurden für Cu-Schichten bei Raumtemperatur als Funktion der Zeit in-situ verfolgt.

Original language	English
Title of host publication	Proceedings of 6. Industriefachtagung "Oberflächen- und Wärmebehandlungstechnik"
Publication date	2005
Publication status	Published - 2005
Event	8. Werkstofftechnischen Kolloquium - Technische Universität Chemnitz, Chemnitz, Germany Duration: 29 Sept 2005 → 30 Sept 2005 Conference number: 8

Conference

Conference	8. Werkstofftechnischen Kolloquium
Number	8
Location	Technische Universität Chemnitz
Country/Territory	Germany
City	Chemnitz
Period	29/09/2005 → 30/09/2005
Other	Part of 6. Industriefachtagung "Oberflächen- und Wärmebehandlungstechnik"

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@inproceedings{ffd0cd5ca4e14014a49337d71a509e6d,

title = "Korrelation Proze{\ss} - Gef{\"u}ge - Eigenschaften",

abstract = "Anhand unterschiedlicher funktioneller Schichten (Cu, Ni, Ni-W, Co-Ni-Fe) wird der Zusammenhang zwischen den gew{\"a}hlten Abscheideparametern, dem Gef{\"u}ge der Schichten und den daraus resultierenden Eigenschaften diskutiert. Struktur- und Gef{\"u}geanalyse der Schichten erfolgte mittels R{\"o}ntgen- und Elektronenbeugung, Licht- und Elektronenmikroskopie. Abh{\"a}ngig von den f{\"u}r die Anwendung der Schichten ma{\ss}geblichen Eigenschaften wurden H{\"a}rtemessungen sowie Messungen des elektrischen Widerstandes bzw. magnetischer Eigenschaften durchgef{\"u}hrt. Gef{\"u}ge- und Eigenschafts{\"a}nderungen wurden f{\"u}r Cu-Schichten bei Raumtemperatur als Funktion der Zeit in-situ verfolgt.",

author = "Karen Pantleon and Tang, \{Peter Torben\} and Rasmussen, \{Anette Alsted\} and Io Mizushima and Jensen, \{Jens Dahl\} and Per M{\o}ller and Somers, \{Marcel A.J.\}",

year = "2005",

language = "English",

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note = "8. Werkstofftechnischen Kolloquium ; Conference date: 29-09-2005 Through 30-09-2005",

}

TY - GEN

T1 - Korrelation Prozeß - Gefüge - Eigenschaften

AU - Pantleon, Karen

AU - Tang, Peter Torben

AU - Rasmussen, Anette Alsted

AU - Mizushima, Io

AU - Jensen, Jens Dahl

AU - Møller, Per

AU - Somers, Marcel A.J.

N1 - Conference code: 8

PY - 2005

Y1 - 2005

N2 - Anhand unterschiedlicher funktioneller Schichten (Cu, Ni, Ni-W, Co-Ni-Fe) wird der Zusammenhang zwischen den gewählten Abscheideparametern, dem Gefüge der Schichten und den daraus resultierenden Eigenschaften diskutiert. Struktur- und Gefügeanalyse der Schichten erfolgte mittels Röntgen- und Elektronenbeugung, Licht- und Elektronenmikroskopie. Abhängig von den für die Anwendung der Schichten maßgeblichen Eigenschaften wurden Härtemessungen sowie Messungen des elektrischen Widerstandes bzw. magnetischer Eigenschaften durchgeführt. Gefüge- und Eigenschaftsänderungen wurden für Cu-Schichten bei Raumtemperatur als Funktion der Zeit in-situ verfolgt.

AB - Anhand unterschiedlicher funktioneller Schichten (Cu, Ni, Ni-W, Co-Ni-Fe) wird der Zusammenhang zwischen den gewählten Abscheideparametern, dem Gefüge der Schichten und den daraus resultierenden Eigenschaften diskutiert. Struktur- und Gefügeanalyse der Schichten erfolgte mittels Röntgen- und Elektronenbeugung, Licht- und Elektronenmikroskopie. Abhängig von den für die Anwendung der Schichten maßgeblichen Eigenschaften wurden Härtemessungen sowie Messungen des elektrischen Widerstandes bzw. magnetischer Eigenschaften durchgeführt. Gefüge- und Eigenschaftsänderungen wurden für Cu-Schichten bei Raumtemperatur als Funktion der Zeit in-situ verfolgt.

M3 - Article in proceedings

BT - Proceedings of 6. Industriefachtagung "Oberflächen- und Wärmebehandlungstechnik"

T2 - 8. Werkstofftechnischen Kolloquium

Y2 - 29 September 2005 through 30 September 2005

ER -

Korrelation Prozeß - Gefüge - Eigenschaften

Abstract

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