Abstract
Anhand unterschiedlicher funktioneller Schichten (Cu, Ni, Ni-W, Co-Ni-Fe) wird der
Zusammenhang zwischen den gewählten Abscheideparametern, dem Gefüge der
Schichten und den daraus resultierenden Eigenschaften diskutiert. Struktur- und
Gefügeanalyse der Schichten erfolgte mittels Röntgen- und Elektronenbeugung,
Licht- und Elektronenmikroskopie. Abhängig von den für die Anwendung der
Schichten maßgeblichen Eigenschaften wurden Härtemessungen sowie Messungen
des elektrischen Widerstandes bzw. magnetischer Eigenschaften durchgeführt.
Gefüge- und Eigenschaftsänderungen wurden für Cu-Schichten bei Raumtemperatur
als Funktion der Zeit in-situ verfolgt.
Original language | English |
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Title of host publication | Proceedings of 6. Industriefachtagung "Oberflächen- und Wärmebehandlungstechnik" |
Publication date | 2005 |
Publication status | Published - 2005 |
Event | 8. Werkstofftechnischen Kolloquium - Technische Universität Chemnitz, Chemnitz, Germany Duration: 29 Sept 2005 → 30 Sept 2005 Conference number: 8 |
Conference
Conference | 8. Werkstofftechnischen Kolloquium |
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Number | 8 |
Location | Technische Universität Chemnitz |
Country/Territory | Germany |
City | Chemnitz |
Period | 29/09/2005 → 30/09/2005 |
Other | Part of 6. Industriefachtagung "Oberflächen- und Wärmebehandlungstechnik" |