In-process quality assurance of micro components

Der skal udvikles måleprincipper og målemetoder til in-process kvalitetskontrol af mikrokomponenter. Måleprincipperne skal kunne håndtere 2½D og 3D mikrokomponenter og den forventede nøjagtighed skal ligge i størrelsesordenen 3 - 5 μm. Der vil primært blive arbejdet med optiske løsninger, men integration af mekaniske og optiske løsninger kan blive nødvendige for at opnå den fornødne nøjagtighed i 3D. Der vil blive fokuseret på etablering af sporbarhed i kvalitetsstyringen.