Chemical Vapour Deposition (CVD)

  • Mørch, Knud Aage (Project Manager)
  • Bohr, Jakob (Project Participant)

Project Details

Description

Der er i samarbejde med NKT Research Center udviklet udstyr for fremstilling af belægninger ved højtemperatur CVD af TiN på metaller samt teknikker for prøvepræparation til TEM-analyse af disse.
StatusActive
Effective start/end date01/01/1996 → …